高品質ウエハー開発の駆動力ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive-RAMANdrive

高品質ウエハー開発の駆動力ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive
コスモトレーディング株式会社

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この製品について

300mmウエハーステージを搭載したラマン顕微鏡です。異物・欠陥検査装置で取得した座標データの読み込みも可能です。

■ステージナビゲーションシステム当社独自開発のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、サンプル上に存在する異物や欠陥の座標へ、ステージを正確かつスムーズに電動で移動させます。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

■独自開発300mmウエハーステージを搭載最大300mmの大口径ウエハーを設置できる専用ステージを搭載。真空吸着機構により、ウエハーを常に水平に保ちながら、ステージ上にしっかり固定できます。ステージの可動範囲が広いため、ウエハーの端から端まであらゆる場所を視野中心に捉え、測定することが可能です。ステージ中央の溝には、ウエハー以外の背の高いサンプルも設置できます。

■ハイパフォーマンスなラマン分光イメージングラマンイメージの取得速度を飛躍的に上げるため、レーザービームをライン状に引き伸ばして試料に照射する独自のライン照明技術を開発。試料上のライン状に照射された領域から、同時に400本のラマンスペクトルを検出します。また、高精度のスキャニングミラーを搭載することで、レーザービーム走査によるイメージングを実現。

分析エリアを指定したら、ステージを全く動かすことなく、わずか数分のうちに10万画素を超える高精細なラマンイメージを取得できます。

また、高品質な共焦点光学系が搭載されたRAMANdriveは、XYZすべての方向で最高の空間分解能を誇ります。この高い分解能は、100nm以下の微小粒子の検出感度を飛躍的に高めることにも寄与します。優れたスペクトル分解能とピーク位置決め精度は、応力やポリタイプの高精度な分析を可能とします。

■100nm以下の微小異物を同定最高クラスの空間分解能は、スポットサイズよりも小さな粒子の検出感度を飛躍的に高めます。オプションの高品質な暗視野観察機能により100nm以下の微小異物の位置を明瞭に確認し、高精度なレーザービーム走査で正確に異物の中心にレーザービームを照射します。S/Nの高いラマンスペクトルが取得できるため、高精度な異物同定が可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高品質ウエハー開発の駆動力ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive

取扱企業
コスモトレーディング株式会社

カテゴリ

観察機器

光学顕微鏡

観察機器

ラマン顕微鏡

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高品質ウエハー開発の駆動力ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	空間分解能 (X / Y / Z)	スペクトル測定範囲	スペクトル分解能 (FWHM)	スペクトルピクセル分解能	ピーク位置決め精度	レーザー波長	レーザー照射方式	分光器の焦点距離	グレーティング	検出器	サイズ (W×H×D)	重量
	RAMANdrive	要見積もり	350nm / 500nm / 1,000nm (@532nm, 100x 0.90NA)	100cm-1~ (オプション：50 cm-1~)	1.2cm-1 (@785nm, 1,200 g/mm)	0.4cm-1/pixel (@785nm, 1,200 g/mm)	0.1cm-1 (@532nm, 2,400 g/mm)	325nm, 355nm, 488nm, 532nm, 671nm, 785nmほか	ポイント照明／ライン照明	550mm	150, 300, 600, 1,200, 1,800, 2,400 g/mmから3枚内蔵	電子冷却CCD 1340 × 400画素	1,276 × 1,350 × 1,320mm (除振台含む)	390kg (除振台含む)