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ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置-ダイヤモンド合成装置
ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置-北野精機株式会社

ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置
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■特徴

本装置は、タングステンフィラメントを使用したホットワイヤー型CVD装置で、プラズマ損傷の無い大面積と高純度薄膜成形の特徴を持っており、P・N型半導体ダイヤモンド合成や結晶シリコン太陽電池など電子デバイスの分野で多く使用されています。 本装置は分割式のチャンバー構造により、容易にメンテナンスやハード条件だしの変更が可能で、ライン構成の操作盤によりガスラインを含め操作部が前面に集約されている事で操作性良く出来ています。

■構成

・φ600高真空水冷チャンバー ・TMP&RP排気ユニット ・チャンバー昇降機構 ・ガス混合パネル (IN4系OUT2系) ・バブラー恒温層

  • シリーズ

    ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置

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ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達真空度 試料サイズ ホットワイヤー ヒーター電源 基板加熱温度 TCモニター ガスライン
ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置-品番-ダイヤモンド合成装置

ダイヤモンド合成装置

要見積もり

≦1.0E-5Pa

100mm

φ0.6タングステン

AC/DC35kW

Max800℃

6点

混合2系統

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