CVD装置 レーザーアシストCVD装置 MPCVD-Laser-MPCVD-Laser
CVD装置 レーザーアシストCVD装置 MPCVD-Laser-株式会社マイクロフェーズ

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この製品について

レーザー描画によるパターン成膜が可能

■概要

・市販のファイバーレーザー加工機の試料室に、反応性ガス (炭化水素ガスやアンモニアガスなど) の導入・排出機能を有する試料チャンバーを設置、その中に基板を置く。 ・レーザー光は上から、チャンバーの透明ガラスを通って、基板に照射し、平面内でスキャンしながら、お好みのパターン内に選択的にCVD成膜ができる ・ご希望の目的に合わせて作製しますので、詳細はご相談ください。

  • シリーズ

    CVD装置 レーザーアシストCVD装置 MPCVD-Laser

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CVD装置 レーザーアシストCVD装置 MPCVD-Laser 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社マイクロフェーズは、カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジーの分野の研究開発と、これらを使った事業の支援を行う会社です。 1999年に設立して、2002年に筑波大学発ベンチャーとして認定されました。さま...

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  • 本社所在地: 茨城県
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