CVD装置 スライド型長尺管CVD装置 MPCVD-Slide-MPCVD-Slide
CVD装置 スライド型長尺管CVD装置 MPCVD-Slide-株式会社マイクロフェーズ

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株式会社マイクロフェーズ

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この製品について

連続処理による生産量の大幅向上

■目的

当社が考案した量産用連続CVD処理方式です。十分長い反応管に処理する試料を縦列に並べて置き、加熱炉を左から右へのスライドさせながら、管内のすべての試料に同一かつ均一なCVD処理を施すことができます。

■特徴

・長時間にわたる連続処理で量産可能。 ・上流側と下流側とのCVD成膜斑 (膜厚差) がなくなる。 ・粉末処理の場合でも、クリーンで、処理前後の試料の回収ロスが少ない。 ・モーター駆動スライドであるため、全自動で、スライド速度が可変できる。

  • シリーズ

    CVD装置 スライド型長尺管CVD装置 MPCVD-Slide

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CVD装置 スライド型長尺管CVD装置 MPCVD-Slide 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社マイクロフェーズは、カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジーの分野の研究開発と、これらを使った事業の支援を行う会社です。 1999年に設立して、2002年に筑波大学発ベンチャーとして認定されました。さま...

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  • 本社所在地: 茨城県
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