COBRA SEMICON
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ドライスクリュー真空ポンプ
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。
ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。

動作原理
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。

COBRA BCシリーズのメリット
COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。
COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。
完全にオープンな通信プロトコル (Modbus TCP-IP) で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。
直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

半導体のライト～ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション
・高度なスクリュー設計
・ドライかつ非接触式の動作原理
・独自のフライングベアリング設計
・カンチレバー構造
・設置場所を選ばないコンパクト設計
・直接水冷方式
・完全にオープンな通信プロトコル

型番
この商品には46種類の型番があります

シリーズ
COBRA SEMICON

取扱企業
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カテゴリ

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COBRA SEMICON 品番46件

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品番	価格 (税抜)	到達真空度到達真空度 0.01hPa(mbar) 0.003hPa(mbar) 0.03hPa(mbar) 0.001hPa(mbar)	使用水量 1.0l/min 最小3.0–4.0l/min 最小4.0–5.0l/min 4.0l/min 6l/min 5.0l/min 7.0–8.0l/min 最小7.0–8.0l/min 10l/min 最小10l/min 12l/min 13l/min 22l/min 31l/min	消費電力(到達真空度時) 1.1kW 1.7kW 1.2kW 1.9kW 1.3kW 2.6kW 3.2kW 4.3kW 5.2kW 9kW 3.0kW 3.6kW 3.3kW 4.0kW 5.6kW 6.8kW 5.0kW 10kW 11kW 11.8kW 9.9kW 12.4kW 12.5kW 13kW 21kW 30kW	定格モーター出力 1.8kW 4.0kW 4.4kW 5.5kW 6.6kW 15kW	設計排気速度 100m³/h 550m³/h 640m³/h 870m³/h 1200m³/h 70m³/h 85m³/h 140m³/h 160m³/h 600m³/h 500m³/h 610m³/h 775m³/h 960m³/h 1365m³/h 1640m³/h 1700m³/h 1875m³/h 1830m³/h 2130m³/h 3200m³/h 3500m³/h 4200m³/h 6000m³/h 6160m³/h 7000m³/h 7385m³/h	質量 115kg 315kg 310kg 360kg 276kg 338kg 745kg 445kg 576kg 668kg 500kg 520kg 600kg 1300kg 1380kg 1360kg 1390kg 1440kg 1350kg 1800kg 2500kg 3320kg	定格モーター回転数 3600min⁻¹ 3000min⁻¹	外形寸法(LxWxH) 520x300x340mm 905x354x660mm 1054x425x615mm 865x385x667mm 975x425x697mm 1654x600x747mm 865x385x917mm 1034x425x1017mm 1063x465x1069mm 1073x426x740mm 1073x426x750mm 1124x426x750mm 1133x425x954mm 1420x722x1452mm 1316x633x1249mm 1654x722x1452mm 1550x723x1452mm 1441x627x1100mm 1567x810x1615mm 1604x1470x1860mm 1604x2114x1860mm	騒音値(ISO2151) 58dB(A) 62dB(A) <62dB(A) <68dB(A) <70dB(A) <75dB(A) <78dB(A)	ガスアウトレット DN40KF DN40ISO-KF DN40 DN63 DN50 2·DN63 3·DN63	ガスインレット DN50KF DN63ISO-K DN100ISO-K DN160ISO-K DN40 DN50 DN100 DN63 DN160 DN200	窒素消費量 0–70l/min 0–75l/min 0–200l/min 2·(0–200)l/min 3·(0–200)l/min	定格モーター出力(バックポンプ) 1.5kW 4.0kW 4.4kW 5.5kW 6.6kW 7.9kW 15kW 18.5kW 2·15kW 3·15kW	定格モーター出力(メカニカルブースター) 1.5kW 1.8kW 2.9kW 4.0kW 4.4kW 5.5kW 6.6kW 15kW 15.0kW 20kW	消費電力(アイドルモード時) 1.7kW 1.2kW 1.9kW 1.3kW 3.0kW 3.6kW 3.3kW 4.0kW 5.6kW 6.8kW 10kW 11kW 11.8kW 9.9kW 10.3kW 12.5kW 13kW 19kW 28kW	定格モーター回転数(バックポンプ) 3000min⁻¹ 3600min⁻¹ 5100min⁻¹ 4320min⁻¹	定格モーター回転数(メカニカルブースター) 3000min⁻¹ 3600min⁻¹ 5400min⁻¹
COBRA DS 2141 A 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	5.0kW	-	1875m³/h	600kg	-	1133x425x954mm	<75dB(A)	DN50	DN160	0–75l/min	7.9kW	4.0kW	-	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 2141 A 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	5.0kW	-	1875m³/h	600kg	-	1133x425x954mm	<75dB(A)	DN50	DN160	0–75l/min	7.9kW	4.0kW	-	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3181 B 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	最小10l/min	12.4kW	-	3500m³/h	1390kg	-	1654x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	18.5kW	15.0kW	10.3kW	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3181 B 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	最小10l/min	12.4kW	-	3500m³/h	1390kg	-	1654x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	18.5kW	15.0kW	10.3kW	4320min⁻¹	5400min⁻¹

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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