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エッチング装置-エッチング装置
エッチング装置-株式会社マツケン

エッチング装置
株式会社マツケン

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この製品について

航空機部品製造における特殊工程(非破壊検査工程)のエッチング装置の製作も対応可能です。また、エッチング装置のみでなく、排ガス洗浄装置(スクラバー)、すすぎ水リサイクル装置による液のリユースまで環境保全対策も考慮したトータルシステムをご提案します。

  • シリーズ

    エッチング装置

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エッチング装置 品番1件

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使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究

エッチング方式

ウェットエッチング型 ドライエッチング型 イオンビームエッチング型

プラズマ生成方式

高周波プラズマ型 インダクティブプラズマ型 キャパシティブプラズマ型

搬送方式

バッチ式 シングルウェハ式

対象材料

シリコン対応型 化合物半導体対応型 金属膜対応型 絶縁膜対応型

ウェハサイズ mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350

プラズマソース

CCP型 ICP RF プラズマ マイクロ波

圧力制御

APC制御 FAPC

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

54.5時間

会社概要

当社は(株)MORESCOグループの環境事業専門会社としてUF/RO膜装置をはじめとする水処理装置・水処理薬剤、洗浄装置・洗浄剤を中心に環境関連商品を取り扱っています。メーカー商社としての特殊な機能を活かし、最適提案をモ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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