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ヘキサポッドステージ TriPod-TRIPOD 52-6DoF
ヘキサポッドステージ TriPod-株式会社フィジックステクノロジー

ヘキサポッドステージ TriPod
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

TRIPODは、シリアルキネマティックとパラレルキネマティックを組み合わせたコンパクトでモジュール式のSmarAct社の新しい6軸ステージシステムです。SmarPodはθzの回転範囲に制限がありますが、TRIPODは360°リミットなく回転することができます。

  • シリーズ

    ヘキサポッドステージ TriPod

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ヘキサポッドステージ TriPod 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動距離 耐荷重 外形 重量 分解能 (Closed loop時) 繰返し精度 (Closed loop時)
ヘキサポッドステージ TriPod-品番-TRIPOD 52-6DoF

TRIPOD 52-6DoF

要見積もり

X=31mm, Y=31mm, Z=6mm, θx=20°, θy=19°, θz=360°

垂直:3N、水平:2.5N

90x90x79.5mm

490g

1nm、3μrad

±50nm

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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