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薄膜・表面改質技術＆装置 プラズマイオン処理装置-プラズマイオン処理装置
薄膜・表面改質技術＆装置 プラズマイオン処理装置-新明和工業株式会社

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この製品について

■プラズマイオン処理装置とは

プラズマイオン処理はプラズマにより生成されたイオンを用いて表面改質を行う技術です。応用事例としては、窒化処理や金属加工物の形状改善に適用できます。

■ダイヤモンド被覆工具

・独自のプラズマ処理によりダイヤモンドコーティング刃先の先鋭化 ・先鋭化工具での加工テスト

■プラズマ窒化の原理

ホローカソード型プラズマソースで窒素プラズマを生成し、真空チャンバ―内へ送り込みます。窒素プラズマのイオンは、ワークに印加されたバイアスにより引き込まれ、衝突および侵入します。ワーク表層は窒素系の金属間化合物が生成されます。

■プラズマ窒化の特長

・環境負荷の少ないアルゴンガス、窒素ガスを使用。作業環境に優しい (アンモニアガス不要) ・プラズマパワーのみで窒化温度まで昇温可能。構造がシンプル。 ・ステンレス鋼への窒化処理可能

■メリット

・硬度の向上 ・耐摩耗性の向上 ・耐食性の向上

■高速度工具鋼への適用

高速度工具鋼への窒化処理後の断面図と表面からの硬度変化を示します。表面から深さ方向へビッカース硬度計を用いて、数点を測定します。対象材料や処理条件によって、表面硬度の程度は変化します。

  • シリーズ

    薄膜・表面改質技術＆装置 プラズマイオン処理装置

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薄膜・表面改質技術＆装置 プラズマイオン処理装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ 質量 使用ガス 処理温度 プラズマ源
薄膜・表面改質技術＆装置 プラズマイオン処理装置-品番-プラズマイオン処理装置

プラズマイオン処理装置

要見積もり

W 2,200mm×D 2,100mm×H 2,650mm

約 2,600kg

Ar, N2

＜500℃

1基

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使用用途

#センサー開発 #ディスプレイ製造 #バリア膜形成 #研究開発 #光学部品製造 #絶縁膜形成 #太陽電池製造 #電子部品製造 #半導体製造 #表面改質

プラズマ励起方式

容量結合型 誘導結合型 マイクロ波型 パルス電源型

反応場構成

リモート型 平行平板型 シャワーヘッド型 チャンバー分割型

基板処理方式

枚葉式 バッチ式 インライン連続式 立体部品支持式

基板加熱温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200

制御操作

PC PLC タッチパネル

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会社概要

新明和工業株式会社は、航空機・特装車など輸送用機器の製造メーカーです。 1920年に川西機械製作所の飛行機部としてスタートし、1949年に株式会社明和工務店を設立、生活用品や特装車製造を開始しました。航空機、産業機械、...

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  • 本社所在地: 兵庫県

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