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αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ 自動Xステージ SXAシリーズ (オリエンタルモーター製ステッピングモーター PK/PKPシリーズ)取扱企業
オリムベクスタ株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を4件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | テーブルサイズ(mm) | 移動範囲(mm) | 最高速度(mm/sec) | 繰り返し位置決め精度(μm以下) | 水平耐荷重(N) | 取付方法 | バックラッシ | ストローク | リード | モータータイプ | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SXA0530-R01 |
¥108,010 |
50×60 |
±15 |
10 |
±0.3 |
147 |
クロスローラーガイドボールねじ |
≦±0.2μm |
±15mm |
1.0mm |
PK523HPMB |
|
|
|
SXA0750-R01 |
¥120,010 |
75×100 |
±25 |
10 |
±0.3 |
196 |
クロスローラーガイドボールねじ |
≦±0.2μm |
±25mm |
1.0mm |
PK524HPMB |
|
|
|
SXA0775-R02 |
¥135,010 |
75×125 |
±37.5 |
10 |
±0.3 |
196 |
クロスローラーガイドボールねじ |
≦±0.2μm |
±37.5 m m |
1.0mm |
PK524HPMB |
|
|
|
SXA1075-R01 |
¥181,010 |
100×120 |
±37.5 |
20 |
±0.3 |
343 |
クロスローラーガイドボールねじ |
≦±0.2μm |
±37.5 m m |
1.0mm |
C090P-9015P(特注) |
自動ステージの中で同じ条件の製品
駆動方式: ハイブリッド型
自動ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
