PECプロセス装置 PEC-6
株式会社三明



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この製品について

GaNウェハ低ダメージエッチング装置

■光源 波長

UVA UVC選択可能

■加熱機能

エッチング溶液加熱により高速な深堀エッチング可能

■自動運転

タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定

■特徴

・10mm□小片チップからφ6インチウェハ ・GaN 低ダメージエッチングが可能 ・シンプル構造で低価格を実現

  • シリーズ

    PECプロセス装置 PEC-6

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PECプロセス装置 PEC-6 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エッチング方式 適応ワーク UVA光源 UVC光源 薬液供給 外形寸法

PEC-6

要見積もり Photo-Electro Chemical:光電気化学 □10mm小片チップ、φ2~6インチ 超高圧水銀灯 315~400nm 15mW/sm2以上 プラズマ光源 220~320nm 12mW/sm2以上 2ノズルエア圧縮方式
エッチング液、リンス液
1,470 (H) ×650 (W) ×750 (D)

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県
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