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PECプロセス装置 PEC-6
株式会社三明

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この製品について

GaNウェハ低ダメージエッチング装置

■光源 波長

UVA UVC選択可能

■加熱機能

エッチング溶液加熱により高速な深堀エッチング可能

■自動運転

タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定

■特徴

・10mm□小片チップからφ6インチウェハ ・GaN 低ダメージエッチングが可能 ・シンプル構造で低価格を実現

  • シリーズ

    PECプロセス装置 PEC-6

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年10月7日にレビュー済み

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PECプロセス装置 PEC-6 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エッチング方式 適応ワーク UVA光源 UVC光源 薬液供給 外形寸法

PEC-6

要見積もり

Photo-Electro Chemical:光電気化学

□10mm小片チップ、φ2~6インチ

超高圧水銀灯 315~400nm 15mW/sm2以上

プラズマ光源 220~320nm 12mW/sm2以上

2ノズルエア圧縮方式
エッチング液、リンス液

1,470 (H) ×650 (W) ×750 (D)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県
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