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高精度 電動位置決めステージ 電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等)  小型XYZステージ-小型XYZステージ
高精度 電動位置決めステージ 電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等)  小型XYZステージ-株式会社日本レーザー

高精度 電動位置決めステージ 電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) 小型XYZステージ
株式会社日本レーザー

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この製品について

■電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等)

Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、垂直ステージ (X, Z, XY, XYZ) 、回転ステージ、ゴニオステージ、傾斜ステージ (チルトステージ) といった多彩なモーション・コントロール製品を標準製品として提供しています。 またこれら標準製品を組み合わせて、用途に必要な駆動軸をもつ特注電動多軸ステージを、特殊なインターフェイス・アダプタや大きな変更を加えることなく構築することもできます。性能計測には、軸の直交性 (通常 50~250μm範囲) と軸精度 (SOC 0.25~1mm範囲) が含まれます。 これらカスタムステージは、ターンキー・ソリューションとして、コントローラを含めて構築・納品いたします。

■標準製品から構築する電動多軸ステージ

・短納期:標準コンポーネントを利用するため、フルカスタムに比べてはるかに短期間で納品できます ・高い信頼性:性能実証済みの標準コンポーネントを利用するため、技術的なリスクを軽減できます ・幅広い性能試験:モーション・システムのグローバル仕様は、納入前の広範な計測試験を通じて保証しています ・安心サポート:Newport社の50年にわたる設計やアプリケーション・エンジニアリングの経験と、日本レーザーの専門チームによる国内サポート実績で、最適なソリューションを提案いたします

  • シリーズ

    高精度 電動位置決めステージ 電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) 小型XYZステージ

企業レビュー

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2025年3月27日にレビュー

早速のWeb会議開催のご案内を頂き、迅速な対応であった。

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型 電動型 空圧型

軸構成

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

ガイド方式

クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型

精度特性

高精度型 長ストローク型 高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100%出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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  • 本社所在地: 東京都
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