ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム高精密ヘキサポッド-HXP50-MECA

ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム高精密ヘキサポッド
株式会社日本レーザー

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この製品について

Newport社は、科学研究、マイクロエレクトロニクス製造、航空宇宙分野向けに高精度なモーションコントロールソリューションを提供する世界的なリーディングカンパニーです。55年以上にわたり、数千ものシステムの導入実績を持ち、さまざまな分野で優れた成果を上げています。Newport社のユニークで幅広い標準製品に加え、特定のニーズに合わせたカスタム製品やアセンブリ、さらには高度なカスタム/OEMソリューションにも多くの成功事例があります。
 
長年にわたり販売代理店を務めてきた日本レーザーも、標準製品とカスタム製品の両方について、日本国内で多くのお客様にサポートを提供しています。お客様の特定の要件や用途について、お気軽にご相談ください。

■6軸 (X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー) 動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。・6軸を制御する統合型位置決めステージ
・軽量かつコンパクト
・Z軸での高い剛性を実現
・モーション誤差を蓄積がありません。
・可動用のケーブル無。
・軌道制御 Right PathTMでの
・2つの仮想回転中心をソフトウェアで設定可能
・中心耐荷重は 5, 6, 20, 450kg
・各種タイプのヘキサポッドをラインアップ：高精密、高精度、高耐荷重、真空対応 (10-6hPa) バージョン

■最小移動量が小さく精密なモーションコントロールが可能・1台のデバイスを6つの軸で駆動
・軽量、小型、堅牢
・可動ケーブル無し

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム高精密ヘキサポッド

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

ステージ

精密ステージ

ステージ

位置決めステージ

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ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム高精密ヘキサポッド品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	サイズ Ø200 x 151m Ø300 x 209mm	プラットフォーム直径 125mm 200mm Ø300 x 209 mm	可動量, X, Y, Z ±27.5, ±25, ±14mm ±17, ±15, ±7mm	可動量, ΘX, ΘY, ΘZ ±9, ±8.5, ±18° ±11.5, ±10.5, ±19°	最小移動量, X, Y, Z 0.10, 0.10, 0.05µm 0.5, 0.5, 0.25µm	最小移動量, ΘX, ΘY, ΘZ 0.05, 0.05, 0.10mdeg 0.25, 0.25, 0.5mdeg	一方向再現性, X, Y, Z (代表値) ±0.10, ±0.10, ±0.05µm ±0.25, ±0.25, ±0.125µm	一方向再現性, ΘX, ΘY, ΘZ (代表値) ±0.05, ±0.05, ±0.10mdeg ±0.125, ±0.125, ±0.25mdeg	最高速度, X, Y, Z 14, 12, 5mm/s 2.5, 2, 1mm/s 12, 10, 5mm/s	最高速度, ΘX, ΘY, ΘZ 6, 6, 15°/s 1.8, 1.7, 3°/s 8, 8, 16°/s	剛性, X, Y, Z 2, 2, 25N/µm 5, 5, 40N/µm 3, 3, 24N/µm	中心負荷容量 50N 200N 60N	コネクタ DB25 Male (6) and DB15 Male (6) DB25 M (6) , non vacuum compatible	ケーブル長 3m 1.5m	モータ	重量 2.2kg 7.2kg	スレッドタイプ M6
HXP50-MECA	要見積もり	Ø200 x 151m	125mm	±27.5, ±25, ±14mm	±9, ±8.5, ±18°	0.10, 0.10, 0.05µm	0.05, 0.05, 0.10mdeg	±0.10, ±0.10, ±0.05µm	±0.05, ±0.05, ±0.10mdeg	14, 12, 5mm/s	6, 6, 15°/s	2, 2, 25N/µm	50N	DB25 Male (6) and DB15 Male (6)	3m	DC Servo	2.2kg	M6
HXP100-MECA	要見積もり	Ø300 x 209mm	200mm	±27.5, ±25, ±14mm	±11.5, ±10.5, ±19°	0.5, 0.5, 0.25µm	0.25, 0.25, 0.5mdeg	±0.25, ±0.25, ±0.125µm	±0.125, ±0.125, ±0.25mdeg	2.5, 2, 1mm/s	1.8, 1.7, 3°/s	5, 5, 40N/µm	200N	DB25 M (6) , non vacuum compatible	1.5m	DC Servo	7.2kg	-
HXP100P-MECA	要見積もり	Ø300 x 209mm	Ø300 x 209 mm	±17, ±15, ±7mm	±11.5, ±10.5, ±19°	0.10, 0.10, 0.05µm	0.05, 0.05, 0.10mdeg	±0.10, ±0.10, ±0.05µm	±0.05, ±0.05, ±0.10mdeg	12, 10, 5mm/s	8, 8, 16°/s	3, 3, 24N/µm	60N	DB25 Male (6) and DB15 Male (6)	3m	DC Servo	7.2kg	M6