ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ-ECSx3030/Al/RT

ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ-ECSx3030/Al/NUM/RT

ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ-ECSx3030/StSt/HV

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ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ
株式会社日本レーザー

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この製品について

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での高精度マシニング、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適なナノポジショニング製品です。

attocube (アトキューブ) 社のナノポジショナー部門では、圧電モーター (ピエゾ) 駆動ポジショナーの設計、エンジニアリング、製造を通じて、最高の分解能、再現性、安定性を要するアプリケーションのための統合的なナノポジショニングソリューションに注力しています。超高真空や高磁場といった極限環境に対応可能な多彩なラインナップを展開し、ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。
 
ステージの種類は、直進 (リニア) 、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ (リニアド、回転、ゴニオ) を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス (多軸) システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。

■特徴・耐荷重：ナノメートルスケールで数kgまで可能
・クローズドループ制御可能：高速、高分解能、高い位置再現性を同時に提供
・真空対応：大気圧から超高真空 (UHV) まで。全モデルでアルマイトかステンレスを選択可能
・長寿命と高い費用対効果を両立

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

ステージ

精密ステージ

ステージ

位置決めステージ

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ナノ位置決めステージ大気・真空対応ナノ位置決めステージ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	タイプ	軸	耐荷重 9,000g 15,000g	可動量 20mm 30mm	温度	真空度 1E-4mbar 1E-8mbar 5E-11mbar	エンコーダ × 1 nm
ECSx3030/Al/RT	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	1E-4mbar	×
ECSx3030/Al/NUM/RT	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	1E-4mbar	1 nm
ECSx3030/StSt/HV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	1E-8mbar	×
ECSx3030/StSt/NUM/HV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	1E-8mbar	1 nm
ECSx3030/StSt/NUM+/HV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	1E-8mbar	1 nm
ECSx3030/StSt/UHV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	5E-11mbar	×
ECSx3030/StSt/NUM/UHV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	5E-11mbar	1 nm
ECSx3030/StSt/NUM+/UHV	要見積もり	リニア	水平	9,000g	20mm	0 .. 100℃	5E-11mbar	1 nm
ECSx3050/Al/RT	要見積もり	リニア	水平	15,000g	30mm	0 .. 100℃	1E-4mbar	×
ECSx3050/Al/HL/RT	要見積もり	リニア	水平	15,000g	30mm	0 .. 100℃	1E-4mbar	×