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ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ-TRITOR
ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ-株式会社日本レーザー

ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ
株式会社日本レーザー

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■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転 ・最大1,500μmのロングトラベル達成 ・クローズドループオプション ・真空／極低温対応可能 piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。 高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■XYZ軸ステージ TRITORシリーズ

超コンパクトの3次元ステージで、移動量はいずれの軸でも 最大400μm です。機械的な遊びのない平行度の高い動作が得られます。クローズドループも可能です。他の装置への組込みが容易で、研究用途からOEMまで幅広いアプリケーションに使用できます。 ・移動量：9～400μm ・中心穴付きまたは穴無しデザイン ・センサ付きフィードバックオプション ・コンパクトサイズ ・1nm未満の高い分解能

  • シリーズ

    ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ

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ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 可動軸 移動量
ピエゾ駆動ステージ XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ-品番-TRITOR

TRITOR

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XYZ

9~400μm

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1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100％出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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