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ピエゾ駆動ステージ XY軸ステージ PXYシリーズ-PXY
ピエゾ駆動ステージ XY軸ステージ PXYシリーズ-株式会社日本レーザー

ピエゾ駆動ステージ XY軸ステージ PXYシリーズ
株式会社日本レーザー

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■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転 ・最大1,500μmのロングトラベル達成 ・クローズドループオプション ・真空／極低温対応可能 piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。 高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■XY軸ステージ PXYシリーズ

ピエゾアクチュエータを湾曲ヒンジ機構に組み込んだXYステージです。ナノメートルレベルの高い精度と、1軸当り 最高700μmのロングトラベルを達成しています。また平行四辺形型の硬性ヒンジ採用で、機械的遊びのない平行度の高い動作が得られます。他の装置への組込みも容易で、中心穴には種々の光学素子をマウントできます。 ・移動量：16～400μm ・トップ／ボトムプレート付き PXY 38/100/200/201/400 ・AFM, 計測用途に便利なL字型モデル PXY D12 ・オプティクスやレーザーのポジショニングに最適な PXY15/16/36及びScan XY40 ・高速セッティング ・優れた長時間位置安定性

  • シリーズ

    ピエゾ駆動ステージ XY軸ステージ PXYシリーズ

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ピエゾ駆動ステージ XY軸ステージ PXYシリーズ 品番1件

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100％出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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