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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | チャンバー | 基板サイズ | 薬液圧送 | 薬液吐出 | ステップ数 | プログラムモード | プロセス (標準) | 使用薬液 | 回転数 | インターロック | 電源 | 寸法 (mm/ドア開放時) | 重量 | 主要オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
AD-1200 |
要見積もり |
ステンレス製 |
φ1インチ~φ6インチ (150×150mm) |
内蔵ポンプ使用 |
スプレー吐出 (スイングノズル式) |
96ステップ (スキップ・コピー機能付) |
10モード |
現像液:1系統、リンス:1系統、バックリンス:1系統 |
アルカリ系現像液・アルカリ現像液 (TMAH) ・有機溶剤現像液 (ネガレジスト用) にも対応可能 (オプション) |
0~3,000rpm |
真空吸着確認センサー、処理室カバーインターロック、ノズル移動オーバーランリミッター |
AC100V 4A |
550W×440H (740H) ×400D |
33kg |
薬液温度管理システム (加圧方式) 、各種基板ホルダー、設置用作業台 |
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使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測工程分類
成膜装置 リソグラフィ装置 エッチング装置搬送方式
バッチ式 シングル式 クラスター式 真空搬送式成膜方式
化学気相成長型 物理気相成長型 スピンコート型ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260
