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高密度 プラズマ装置 SWP-高密度 プラズマ装置 SWP
高密度 プラズマ装置 SWP-神港精機株式会社

高密度 プラズマ装置 SWP
神港精機株式会社

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この製品について

大面積に均一な高密度プラズマが生成可能な表面波プラズマ (SWP) を採用し、アッシング・表面処理等多くの用途で活躍中です。 H2ラジカルによるダメージレスクリーニングが行えます。 製品の特長 ・大面積に均一な高密度プラズマが形成できる表面波プラズマを応用し、アッシングやCVD装置として納入実績あり ・ダメージレスでハイレートアッシングが可能 SWPの応用分野 ・半導体ウェハプロセス / アッシング ハイレート＝300mmウェハにて2μm/min以上 ダメージレス＝完全ダウンフロー方式によりチャージアップダメージを完全追放 ・FPD製造プロセス / 有機層除去 (アッシング含む) パネル上の配向膜を高密度プラズマにより発生したラジカルで除去、大型FPDの製造工程に対応 ・MEMS製造プロセス 有機膜エッチング＝有機膜による犠牲層をハイレートで完全除去 プラズマエッチング＝SWPプラズマに基板側にRFバイアスを併用し、各種薄膜をエッチング ・その他 / プラズマCVD用途 大面積への均一なプラズマ分布を生かし、太陽電池等の研究用に適応されています。今後とも新たな用途が期待できます。

  • シリーズ

    高密度 プラズマ装置 SWP

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高密度 プラズマ装置 SWP-品番-高密度 プラズマ装置 SWP

高密度 プラズマ装置 SWP

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電源 V

単相200V 30A AC100V 30A AC100V 15A 単相100V 15A 単相100V 30A 200V 単相 20A

ガス系統 系統

1系統 2系統 3系統

ステージ寸法 mm

200mm 100mm 1000mm

処理圧力調整

バルブ 手動調整 APC制御

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この商品の取り扱い会社情報

神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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