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プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置-ICPメタル エッチング装置
プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置
神港精機株式会社

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この製品について

ナノインプリントモールド用ICPエッチング装置「SERIO」の基本構成よりチャンバ内構成やガス系をメタル用にカスタマイズした最新型エッチング装置です。 半導体・MEMSの最新プロセスに対応し、AIやCrのナノレベルの線幅のエッチングを実現しています。 従来型SERIOに比べ、Siウェハ以外の基板、サファイアやGaAsなどの化合物半導体 ・ウェハやフォトマスク用のガラス、石英など幅広い基板や用途のエッチングに対応 ・実績分マルチチャンバシステムと組合せ本格量産用途への展開も極めて容易 8インチウェハ対応のロードロックタイプを標準としており、プロセスに応じて加熱ステージやチャンバ大型化などのカスタマイズが可能です。 エッチング室の複数装備やSWPアッシングチャンバの搭載によってハイスループットで一貫した金属膜のエッチングプロセスが実現できます。 弊社内のデモ機によるプロセステストを通じてご要望に最適なハード&ソフトを提供いたします。 半導体、MEMS、フォトマスク、高周波デバイス、フォトニックデバイスなどのプロセス開発から量産まで確実にサポートいたします。

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    プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

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神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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