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電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様-Dry成膜 量産装置仕様
電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様-東レエンジニアリング株式会社

電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様
東レエンジニアリング株式会社



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この製品について

■概要

当社独自のDry成膜技術で、お客様のニーズに合わせて、PVD、CVD、蒸着をご提案します。PVD、CVD、蒸着での、開発用途~量産まで幅広いご提案が可能です。当社独自のDry成膜技術で、PV・O-LED・QDなどの用途において、お客様ニーズに応えます。

■特長

・RtoRのドライ成膜に対応し、高生産性を実現。 ・水蒸気透過率: 1×10-4~1×10-5 (g/m2・day) ・無機膜による積層: 10~30層 ・高透明性: 光透過率 90%以上 (可視光領域にて)

  • シリーズ

    電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様

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電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基材幅 ロール巻径 装置構成
電池関連装置Dry成膜 量産装置仕様-品番-Dry成膜 量産装置仕様

Dry成膜 量産装置仕様

要見積もり

Max1,400mm、有効幅: Max1,300mm

Max500mm (6インチコア時)

・ロール用チャンバ: 2
・成膜用チャンバ: 1
・プラズマ電極: 4

フィルターから探す

半導体製造装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

東レエンジニアリング株式会社は、東京都中央区に本社を置き、プラント建設や機器・設備の開発とものづくりを手掛ける企業である。 1960年、「東洋工事(株)」を設立。1969~1980年に、住宅事業、物流事業、環境事業、原...

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  • 本社所在地: 東京都
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