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マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L-MT3000L
マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L-東レエンジニアリング株式会社

マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L
東レエンジニアリング株式会社



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この製品について

■概要

Micro/Mini LED用の専用設計で高スループットを実現。半導体業界での実績をベースに、Micro/Mini LED専用の設計で安定かつ高スループットのpick & placeマストランスファーを実現。

■特長

・ムービングサーチ、高剛性フレームにより高精度 (±1.5µm) を実現。 ・独自のセラミックヒーター、圧力・位置制御方式によって、多彩な温度・圧力・高さのプロファイルが可能。 ・独自のヘッドギャップコントロール機能により、最適なギャップを実現。 ・ヘッドを交換することにより低圧から高圧領域まで対応可能。 ラインナップ

■MT3000L

・目的: 量産・Pilot Line ・ワーク搬送: 自動搬送

■FC3000MS

・目的: R&D・少量生産 ・ワーク搬送: 手動搬送

  • シリーズ

    マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L

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マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 目的 ワーク搬送 基板サイズ ウエハサイズ サイクルタイム アライメント精度
マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー MTシリーズ MT3000L-品番-MT3000L

MT3000L

要見積もり

量産・Pilot Line

自動搬送

370x470mm (max)

4・6inch

3sec/shot

±1.5µm

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半導体製造装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

東レエンジニアリング株式会社は、東京都中央区に本社を置き、プラント建設や機器・設備の開発とものづくりを手掛ける企業である。 1960年、「東洋工事(株)」を設立。1969~1980年に、住宅事業、物流事業、環境事業、原...

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  • 本社所在地: 東京都
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