プラズマダイサー APX300-PD
パナソニックコネクト株式会社

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この製品について

■APX300-PDは半導体工場の自動化・高生産性を実現するマルチチャンバーシステムです。パナソニック独自のチャンバーをさらに進化させ、高速・高均一性ダイシングを実現しました。益々進化する最先端半導体の製造に重要なクリーン加工に貢献します。・同じチャンバーで異なる材質の連続加工が可能 (Si＋絶縁膜) 
・プラズマの密度分布のコントロールにより、高均一性を実現
・ダメージレス高速加工を実現。Si：Etchingrate≧35um/min。SiO2：Etchingrate≧0.5um/min
・パーティクルフリーによりクリーン加工を実現
・半導体工場に対応したマルチチャンバーシステム (最大　4チャンバー) 
・300mmウエハ、300mmリング付きウエハに対応