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プラズマダイサー APX300-PD-APX300-PD
プラズマダイサー APX300-PD-パナソニック コネクト株式会社

プラズマダイサー APX300-PD
パナソニック コネクト株式会社

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この製品について

■APX300-PDは半導体工場の自動化・高生産性を実現するマルチチャンバーシステムです。パナソニック独自のチャンバーをさらに進化させ、高速・高均一性ダイシングを実現しました。益々進化する最先端半導体の製造に重要なクリーン加工に貢献します。

・同じチャンバーで異なる材質の連続加工が可能 (Si＋絶縁膜) ・プラズマの密度分布のコントロールにより、高均一性を実現 ・ダメージレス高速加工を実現。Si：Etchingrate≧35um/min。SiO2：Etchingrate≧0.5um/min ・パーティクルフリーによりクリーン加工を実現 ・半導体工場に対応したマルチチャンバーシステム (最大　4チャンバー) ・300mmウエハ、300mmリング付きウエハに対応

  • シリーズ

    プラズマダイサー APX300-PD

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プラズマダイサー APX300-PD 品番1件

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APX300-PD

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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

工程分類

成膜装置 リソグラフィ装置 エッチング装置

搬送方式

バッチ式 シングル式 クラスター式 真空搬送式

成膜方式

化学気相成長型 物理気相成長型 スピンコート型

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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パナソニックコネクト株式会社は、パナソニックグループの一員としてサプライチェーン・公共サービス・生活インフラ・エンターテインメントなどのさまざまな分野に向けた製品やソフトウエアを製造・販売している会社です。 2017年...

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