SiSi Wafer
アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

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この製品について

従来の厚エピや反転エピなど、パワーデバイスやPiNダイオード用に従来使用されていた材料の代替として用いることができ、費用対効果が高い材料です。直接ウエハーをボンディングする技術により、様々な単結晶シリコンを含むシリコン基板を作ることができます。

抵抗レンジは1mΩ-cmから10kΩ-cm、NタイプやPタイプの素材でオリエンテーション方向のアレンジ可能。高品質でリークやワープは小さく、低い欠陥密度となります。層の厚みのばらつき+/-0.5um以下。高濃度から低濃度の遷移レベルもお客様のアプリケーションに応じて調整できます。

■アプリケーション ・高耐圧 PINダイオード 
・RF 減衰器 
・光検出器 
・X線検出器 
・IR赤外線センサー 
・高耐圧パワーデバイス 
・エピ材からの置き換え 

■主な特徴・高い品質 
・低コスト 
・低い欠陥密度 
・膜の均一性がよい 
・マルチレイヤ― 
・鋭い濃度遷移レベル 
・10kΩ-cmまでの抵抗率 
・界面品質がよい– 高解像サム検査による 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
SiSi Wafer

取扱企業
アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

カテゴリ

半導体製造

シリコンウェハ

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SiSi Wafer 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ハンドル層厚さ	ハンドル層厚さ公差範囲	ハンドル層重ね厚さ範囲	ハンドル層ドーパントタイプ	ハンドル層ドーピング	ハンドル層抵抗率	ハンドル層シリコン成長方法	ハンドル層結晶方位	ハンドル層裏面処理	デバイス層膜厚	デバイス厚さ公差範囲 ±0.5μm ±0.8μm	デバイス層ドーパントタイプ	デバイス層ドーピング	デバイス層抵抗率	デバイス層シリコン成長方法	デバイス層結晶方位	デバイス層埋め込み層のインプラ
SiSi Wafer ウエハー直径 100mm	要見積もり	200-1,100μm	±5μm	280-1,150μm	NまたはP	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる	≥20μm	±0.5μm	N or P	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	N type または P type
SiSi Wafer ウエハー直径 125mm	要見積もり	200-1,100μm	±5μm	280-1,150μm	NまたはP	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる	≥20μm	±0.5μm	N or P	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	N type または P type
SiSi Wafer ウエハー直径 150mm	要見積もり	200-1,100μm	±5μm	280-1,150μm	NまたはP	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる	≥20μm	±0.5μm	N or P	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	N type または P type
SiSi Wafer ウエハー直径 200mm	要見積もり	200-1,100μm	±5μm	280-1,150μm	NまたはP	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる	≥20μm	±0.8μm	N or P	N type: Phos、 Red Phos、Sb＆As P type: Boron	≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm	CZ、MCZ or FZ	100、111 or 110	N type または P type