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カム機構 カムポジショニングステージ-カムポジショニングステージ
カム機構 カムポジショニングステージ-オリムベクスタ株式会社

カム機構 カムポジショニングステージ
オリムベクスタ株式会社

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この製品について

■特徴

わずか0.1secで位置補正させる。高速X-Y位置補正ステージ。ボールネジではスピードが遅い、そのお悩みをカムの「高速送り」で解決します。 画像検査での位置補正に最適。溝カムを使って、X軸・Y軸それぞれを位置制御させます。 ノンスリップスライドウェイを採用しタクトの早い用途でも確実に移動します。駆動源はオリエンタルモーター製αSTEP (アルファステップ) AZシリーズを採用しています。

  • シリーズ

    カム機構 カムポジショニングステージ

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カム機構 カムポジショニングステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー ストローク (mm) 最大積載重量 (kg) 繰り返し位置決め (mm)
カム機構 カムポジショニングステージ-品番-カムポジショニングステージ

カムポジショニングステージ

要見積もり

株式会社マシンエンジニアリング

±2.7 (X、Yとも)

5.4

±0.01

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

オリムベクスタ株式会社は、オリエンタルモーターを中心としたさまざまな製品から、最適なFAシステム構築をご提案します。
オリムベクスタは、オリエンタルモーター株式会社の100%出資会社として1984年に設立しました...

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  • 本社所在地: 東京都
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