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シリーズ
プリカーサー・プロセスガス・ハードウェア構成に高い柔軟性 FlexAL ALD原子層堆積システムカテゴリ
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | プラズマ源発生装置 | 温度範囲 | プリカーサ | クラスター化可能モジュール |
---|---|---|---|---|---|---|---|
FlexAL ALD |
要見積もり |
最大200mm |
300Wまたは600W |
30~550 ℃ (テーブルバイアス使用) |
研究用 (100g まで) 、製造用 (500g まで) のプリカーサオプション 金属液体または固体のラピッドバブリングプリカーサーを最大8個まで使用可能 最大10個のプラズマおよび熱ガスプリカーサ... |
PECVD、ICPCVD、RIE、スパッタリングモジュール |