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バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series-SPE-8000
バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series-株式会社昭和真空

バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series
株式会社昭和真空

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この製品について

■バッチ式RIE装置スタンダードモデル

処理能力の大きなバッチ式RIE (反応性イオンエッチング) 装置となっております。φ4インチウエハは24枚処理同時処理、φ6インチは11枚同時処理が可能です。大気搬送室はカセット対応で、ダブルアームロボットを採用し効率の良い搬送が可能です。

■用途・応用例

各種ウエハ電子部品へのRIE処理

■特長

・RIEとして大量一括処理が可能 ・ダブルアームロボット搬送によりカセットからウエハを効率的な入れ替えが可能 ・エッチング分布：±5%以内、サイクルタイム：20min/バッチ

  • シリーズ

    バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series

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バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量
バッチ式RIE装置 SPE-8000 Series-品番-SPE-8000

SPE-8000

要見積もり

DRP＋MBP＋TMP

W2,800mm×D2,400mm×H2,025mm

2,400kg

AC200V (3φ) ／25kVA (73A)

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エッチング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究

ウェハサイズ mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350

プラズマソース

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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