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枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series-SPE-6000
枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series-株式会社昭和真空

枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series
株式会社昭和真空

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この製品について

■枚葉式RIE装置スタンダードモデル

RIE室3室を搭載した枚葉式RIE (反応性イオンエッチング) 装置です。カセット室を付属しており、カセットの入れ替えで連続運転が可能です。φ4インチ及びφ6インチウエハに対応しております。

■用途・応用例

各種ウエハ電子部品へのRIE処理

■特長

・カセットtoカセット式クラスター型 ・エッチング分布：±1.5％ (φ4インチ) 、±2.5％ (φ6インチ)

  • シリーズ

    枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series

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枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量
枚葉式RIE装置 SPE-6000 Series-品番-SPE-6000

SPE-6000

要見積もり

DRP＋MBP＋TMP

W4,000mm×D3,000mm×H2,200mm

4,500kg

AC200V (3φ) ／49kVA (143A)

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エッチング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究

ウェハサイズ mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350

プラズマソース

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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