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全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ-F&K M17S
全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ-エルテック株式会社

全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ
エルテック株式会社



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この製品について

超音波ワイヤーボンダーM17シリーズは、高度で進化する様々な技術要求にも対応できる様、装置に柔軟性を持たせ、低コストでアップグレードや改造ができることをコンセプトとし開発されました。 そのため、ボンドヘッドの交換だけで他の種類のワイヤーボンディング (ボールボンディング/ウェッジボンディング、細線/太線/リボン線等) も行える様に設計されています。また、様々な仕様や生産量に対応できる様、スタンドアローンの設備からローダーアンローダー付き、インライン仕様に対応することも可能です。ボンディング対象物のサイズに応じ、M17S、M17D、M17L、M17XLと4種類のベースマシンをラインナップしております。 F&KM17シリーズ超音波ボンダーは、自動車、オプトエレクトロニクス、ハイブリッドテクノロジー、COB、MCM、高周波テクノロジー分野など様々な分野でボンディング課題に対し、最適なソリューションを提供します。 特徴

■ボンドプロセスコントロール (BPC)

F&KDELVOTEC社ワイヤーボンダー特有の機能であるボンドプロセスコントロールは、あらかじめプログラムにより設定された目標のワイヤーつぶれ量になる様に、マシンがボンディング中のワイヤーの変形量をリアルタイムにモニタリングし、超音波の出力レベル及びボンディングタイムを自動調整する機能です。ボンディング対象物の表面状態のばらつきをマシンが検知し、最適なボンディングを行うことに貢献致します。 ワイヤーの変形量をリアルタイムでモニタリングし、超音波出力および超音波印加時間を自動調整することで、常に安定したワイヤー変形量を確保。ワイヤーの変形量、超音波出力、電流、超音波周波数の変移のカーブを1ボンドごとにグラフ上に表示。

■フレキシビリティ

拡張性の高いベースマシン⇒ユニバーサルボンドヘッドプラットフォームの採用。ボンドヘッドの交換により1台のベースマシンで色々なアプリケーションのワイヤーボンディングに対応可能 (ボンドヘッド交換毎に再調整は不要です)

■ボールーウェッジ/バンプボンドヘッド

-従来のボール/バンプボンダーでは難しい大きな段差、深打ちボンディングも可能-ヘッドローテーション動作により異なる方向へのボンディング時も安定した2ndボンドつぶれ形状を実現

  • シリーズ

    全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ

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全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) X軸可動範囲 Y軸可動範囲 Z軸可動範囲 X-Y軸 Z軸 位置精度 製品上での繰り返し位置精度 モニター 顕微鏡 外部機器との接続 オペレーティングシステム 認証規格 高さ (シグナルランプ無し/ランプ有り) 奥行き 重さ ワークステージ高さ 供給電源 消費電力 供給エア バキューム
全自動ワイヤーボンダー 超音波自動ボンダー M17シリーズ-品番-F&K M17S

F&K M17S

要見積もり

254mm

152mm

40mm

高分解能リニアエンコーダー付きリニアモーター、分解能0.1μm

アブソリュートACサーボモーター付き、分解能0.5μm

<+/-3μm@3シグマ、PRU/ワイヤー/ツール/アプリケーションを含む

<+/-5μm@3シグマ、PRU/ワイヤー/ツール/アプリケーションを含む

>21" フラット

ステレオズームマイクロスコープ、デジタル調整LED照明付き

SMEMA、USB、RJ45、デジタルI/O

リアルタイム、Unix® ベース、マルチタスクオペレーティングシステム

SEMI S2、CE

553mm

2,249/1,721mm

1,135mm

780kg

SMEMA 仕様850~1050mm

200-240VAC (L/N/PE) 、50/60Hz

0.6 kW (ヒーター未使用時)

4-8 bar

<-0.8 bar

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ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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