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V-738 高精度XYステージ 開口付-V-738.056111
V-738 高精度XYステージ 開口付-ピーアイ・ジャパン株式会社

V-738 高精度XYステージ 開口付
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・移動範囲 102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.1µmまでの一方向の再現性 ・速度 500mm/sまで ・三相リニアモーター ・高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ

■リニアモーター

リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を摩擦なく直接モーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速および加速度に達します。 アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決めタスクに特に適しています。これにより、低速域でもスムーズな走行が可能となり、同時に高速域でも振動が発生しません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力を自由に設定できます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

・非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。 ・非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。 ・その他の移動範囲についてはご要望に応じて承ります。

■循環型ボールベアリング

・慎重に組み立てられた場合、再循環ボールベアリングは、高い負荷容量、寿命、メンテナンスフリーの操作、およびガイド精度の有益な組み合わせによって際立っています。 ・ステージの可動部分は、2つのガイドレール上を走行する4つの予荷重リニア ボールベアリングユニットによってサポートされています。 ・各ベアリングユニットは、循環する2つの独立した列のボールベアリングで構成されています。

■応用分野

医療業界。レーザー切断。走査。バイオテクノロジー。計測学。AOI (自動光学検査) 。顕微鏡検査。

  • シリーズ

    V-738 高精度XYステージ 開口付

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V-738 高精度XYステージ 開口付 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動範囲 統合センサー 設計解像度 センサー信号 最小増分動作 一方向の再現性 双方向再現性 角度誤差 xry (ピッチ) 角度誤差 xrz (ヨー) 角度誤差 yrx (ピッチ) 角度誤差 yrz (ヨー) 真直度・平面度 直交性 速度 無負荷時の X、Y 方向の加速度 リファレンススイッチとリミットスイッチ 負荷容量 許容トルク θX、θY θ Zの許容トルク ガイド モーターの種類 動作電圧、公称 動作電圧、最大 ピークフォース 公称力 ピーク電流、RMS 公称電流、RMS モーター定数 電気時定数 抵抗相間
V-738 高精度XYステージ 開口付-品番-V-738.056111

V-738.056111

要見積もり

102×102mm

インクリメンタルリニアエンコーダ

0.001μm

Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期

0.02μm

0.1μm

±0.25μm

±40μrad

±20μrad

±40μrad

±20μrad

±2μm

±96.963μrad

500mm/s

10m/s²

二股光電センサー N/C接点 5V NPN

100N

130Nm

90Nm

循環ボールベアリングガイド

鉄筋レス三相リニアモーター

48V

48V

200N

87N

15a

4.4a

71N/√W

0.4MS

3.6Ω

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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