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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-P-620.20L
P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・移動範囲50~1,800µm ・0.1nmまでの分解能 ・位置決め精度 0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZバージョン

■応用分野

・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・試験手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーの位置決め ・半導体技術

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

・特許取得済みのPICMA®ピエゾ アクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。 ・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、および kHz 範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度

・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。 ・広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最高の精度

動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ

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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ドライブタイプ ガイド
P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.20L

P-620.20L

要見積もり

XY

60μm

60μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.1nm

0.1nm

ピクマ®

0.35μF

0.35μF

267Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.22N/μm

0.22N/μm

270Hz

285Hz

575Hz

300Hz

395Hz

- - - - - - - - -
P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.2CD

P-620.2CD

要見積もり

XY

60μm

60μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.1nm

0.1nm

ピクマ®

0.35μF

0.35μF

267Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.22N/μm

0.22N/μm

270Hz

285Hz

575Hz

300Hz

395Hz

50μm

50μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.2nm

0.2nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.2CL

P-620.2CL

要見積もり

XY

60μm

60μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.1nm

0.1nm

ピクマ®

0.35μF

0.35μF

267Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.22N/μm

0.22N/μm

270Hz

285Hz

575Hz

300Hz

395Hz

50μm

50μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.2nm

0.2nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.20L

P-621.20L

要見積もり

XY

120μm

120μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.2nm

0.2nm

ピクマ®

1.5μF

1.5μF

178Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.25N/μm

0.25N/μm

220Hz

285Hz

420Hz

285Hz

365Hz

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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.2CD

P-621.2CD

要見積もり

XY

120μm

120μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.2nm

0.2nm

ピクマ®

1.5μF

1.5μF

178Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.25N/μm

0.25N/μm

220Hz

285Hz

420Hz

285Hz

365Hz

100μm

100μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.4nm

0.4nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.2CL

P-621.2CL

要見積もり

XY

120μm

120μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.2nm

0.2nm

ピクマ®

1.5μF

1.5μF

178Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.25N/μm

0.25N/μm

220Hz

285Hz

420Hz

285Hz

365Hz

100μm

100μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.4nm

0.4nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.20L

P-622.20L

要見積もり

XY

300μm

300μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.4nm

0.4nm

ピクマ®

3.1μF

3.1μF

100Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.2N/μm

0.2N/μm

160Hz

180Hz

225Hz

175Hz

215Hz

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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.2CD

P-622.2CD

要見積もり

XY

300μm

300μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.4nm

0.4nm

ピクマ®

3.1μF

3.1μF

100Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.2N/μm

0.2N/μm

160Hz

180Hz

225Hz

175Hz

215Hz

250μm

250μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.7nm

0.7nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.2CL

P-622.2CL

要見積もり

XY

300μm

300μm

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

0.4nm

0.4nm

ピクマ®

3.1μF

3.1μF

100Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.2N/μm

0.2N/μm

160Hz

180Hz

225Hz

175Hz

215Hz

250μm

250μm

0.02%

0.02%

静電容量式の直接位置測定

0.7nm

0.7nm

±2nm

±2nm

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-625.20L

P-625.20L

要見積もり

XY

600μm

600μm

±3μrad

±3μrad

±5μrad

±5μrad

0.5nm

0.5nm

ピクマ®

6.2μF

6.2μF

65Hz

レバー増幅機能付きたわみガイド

0.1N/μm

0.1N/μm

105Hz

120Hz

135Hz

125Hz

150Hz

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ピエゾステージをフィルターから探すことができます

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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