P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ-P-620.20L

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴・移動範囲50～1,800µm
・0.1nmまでの分解能
・位置決め精度 0.02%
・静電容量センサーによる直接位置測定
・X、XY、Z、XYZバージョン

■応用分野・干渉計
・顕微鏡検査
・ナノポジショニング
・バイオテクノロジー
・試験手順と品質保証
・フォトニクス
・ファイバーの位置決め
・半導体技術

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命・特許取得済みのPICMA®ピエゾ アクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。
・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。
・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、および kHz 範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。
・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。
・広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最高の精度動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

XYZステージ

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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X方向の移動範囲、開ループ 60μm 120μm 300μm 600μm	Y方向の移動範囲、開ループ 60μm 120μm 300μm 600μm	ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)	ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)	ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ±3μrad ±5μrad	ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ±3μrad ±5μrad	X方向の解像度、開ループ 0.1nm 0.2nm 0.4nm 0.5nm	Y方向の解像度、開ループ 0.1nm 0.2nm 0.4nm 0.5nm	ドライブタイプ	Xの電気容量 0.35μF 1.5μF 3.1μF 6.2μF	Y方向の電気容量 0.35μF 1.5μF 3.1μF 6.2μF	短期最大動作周波数 267Hz 178Hz 100Hz 65Hz	ガイド	X方向の剛性 0.22N/μm 0.25N/μm 0.2N/μm 0.1N/μm	Y方向の剛性 0.22N/μm 0.25N/μm 0.2N/μm 0.1N/μm	Xの共振周波数、100gの荷重下 270Hz 220Hz 160Hz 105Hz	Xの共振周波数、50gの荷重下 285Hz 180Hz 120Hz	X方向の共振周波数、無負荷 575Hz 420Hz 225Hz 135Hz	Y方向の共振周波数、100gの荷重下 300Hz 285Hz 175Hz 125Hz	Y方向の共振周波数、50gの荷重下 395Hz 365Hz 215Hz 150Hz	X方向の移動範囲 50μm 100μm 250μm	Y方向の移動範囲 50μm 100μm 250μm	Xの直線性誤差 0.02%	Yの直線性誤差 0.02%	統合センサー静電容量式の直接位置測定	Xでのシステム解像度 0.2nm 0.4nm 0.7nm	Y単位のシステム解像度 0.2nm 0.4nm 0.7nm	Xにおける双方向の再現性 ±2nm	Y方向の双方向再現性 ±2nm
P-620.20L	要見積もり	XY	60μm	60μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.1nm	0.1nm	ピクマ®	0.35μF	0.35μF	267Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.22N/μm	0.22N/μm	270Hz	285Hz	575Hz	300Hz	395Hz	-	-	-	-	-	-	-	-	-
P-620.2CD	要見積もり	XY	60μm	60μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.1nm	0.1nm	ピクマ®	0.35μF	0.35μF	267Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.22N/μm	0.22N/μm	270Hz	285Hz	575Hz	300Hz	395Hz	50μm	50μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.2nm	0.2nm	±2nm	±2nm
P-620.2CL	要見積もり	XY	60μm	60μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.1nm	0.1nm	ピクマ®	0.35μF	0.35μF	267Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.22N/μm	0.22N/μm	270Hz	285Hz	575Hz	300Hz	395Hz	50μm	50μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.2nm	0.2nm	±2nm	±2nm
P-621.20L	要見積もり	XY	120μm	120μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.2nm	0.2nm	ピクマ®	1.5μF	1.5μF	178Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.25N/μm	0.25N/μm	220Hz	285Hz	420Hz	285Hz	365Hz	-	-	-	-	-	-	-	-	-
P-621.2CD	要見積もり	XY	120μm	120μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.2nm	0.2nm	ピクマ®	1.5μF	1.5μF	178Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.25N/μm	0.25N/μm	220Hz	285Hz	420Hz	285Hz	365Hz	100μm	100μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.4nm	0.4nm	±2nm	±2nm
P-621.2CL	要見積もり	XY	120μm	120μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.2nm	0.2nm	ピクマ®	1.5μF	1.5μF	178Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.25N/μm	0.25N/μm	220Hz	285Hz	420Hz	285Hz	365Hz	100μm	100μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.4nm	0.4nm	±2nm	±2nm
P-622.20L	要見積もり	XY	300μm	300μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.4nm	0.4nm	ピクマ®	3.1μF	3.1μF	100Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.2N/μm	0.2N/μm	160Hz	180Hz	225Hz	175Hz	215Hz	-	-	-	-	-	-	-	-	-
P-622.2CD	要見積もり	XY	300μm	300μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.4nm	0.4nm	ピクマ®	3.1μF	3.1μF	100Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.2N/μm	0.2N/μm	160Hz	180Hz	225Hz	175Hz	215Hz	250μm	250μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.7nm	0.7nm	±2nm	±2nm
P-622.2CL	要見積もり	XY	300μm	300μm	±3μrad	±3μrad	±3μrad	±3μrad	0.4nm	0.4nm	ピクマ®	3.1μF	3.1μF	100Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.2N/μm	0.2N/μm	160Hz	180Hz	225Hz	175Hz	215Hz	250μm	250μm	0.02%	0.02%	静電容量式の直接位置測定	0.7nm	0.7nm	±2nm	±2nm
P-625.20L	要見積もり	XY	600μm	600μm	±3μrad	±3μrad	±5μrad	±5μrad	0.5nm	0.5nm	ピクマ®	6.2μF	6.2μF	65Hz	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.1N/μm	0.1N/μm	105Hz	120Hz	135Hz	125Hz	150Hz	-	-	-	-	-	-	-	-	-