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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ | Y方向の移動範囲、開ループ | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | 短期最大動作周波数 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Xの共振周波数、50gの荷重下 | X方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、50gの荷重下 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | Xの直線性誤差 | Yの直線性誤差 | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | Xにおける双方向の再現性 | Y方向の双方向再現性 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-620.20L |
要見積もり |
XY |
60μm |
60μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.1nm |
0.1nm |
ピクマ® |
0.35μF |
0.35μF |
267Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.22N/μm |
0.22N/μm |
270Hz |
285Hz |
575Hz |
300Hz |
395Hz |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
P-620.2CD |
要見積もり |
XY |
60μm |
60μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.1nm |
0.1nm |
ピクマ® |
0.35μF |
0.35μF |
267Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.22N/μm |
0.22N/μm |
270Hz |
285Hz |
575Hz |
300Hz |
395Hz |
50μm |
50μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.2nm |
0.2nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-620.2CL |
要見積もり |
XY |
60μm |
60μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.1nm |
0.1nm |
ピクマ® |
0.35μF |
0.35μF |
267Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.22N/μm |
0.22N/μm |
270Hz |
285Hz |
575Hz |
300Hz |
395Hz |
50μm |
50μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.2nm |
0.2nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-621.20L |
要見積もり |
XY |
120μm |
120μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.2nm |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
1.5μF |
178Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.25N/μm |
0.25N/μm |
220Hz |
285Hz |
420Hz |
285Hz |
365Hz |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
P-621.2CD |
要見積もり |
XY |
120μm |
120μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.2nm |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
1.5μF |
178Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.25N/μm |
0.25N/μm |
220Hz |
285Hz |
420Hz |
285Hz |
365Hz |
100μm |
100μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.4nm |
0.4nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-621.2CL |
要見積もり |
XY |
120μm |
120μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.2nm |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
1.5μF |
178Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.25N/μm |
0.25N/μm |
220Hz |
285Hz |
420Hz |
285Hz |
365Hz |
100μm |
100μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.4nm |
0.4nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-622.20L |
要見積もり |
XY |
300μm |
300μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.4nm |
0.4nm |
ピクマ® |
3.1μF |
3.1μF |
100Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.2N/μm |
0.2N/μm |
160Hz |
180Hz |
225Hz |
175Hz |
215Hz |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
P-622.2CD |
要見積もり |
XY |
300μm |
300μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.4nm |
0.4nm |
ピクマ® |
3.1μF |
3.1μF |
100Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.2N/μm |
0.2N/μm |
160Hz |
180Hz |
225Hz |
175Hz |
215Hz |
250μm |
250μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.7nm |
0.7nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-622.2CL |
要見積もり |
XY |
300μm |
300μm |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
±3μrad |
0.4nm |
0.4nm |
ピクマ® |
3.1μF |
3.1μF |
100Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.2N/μm |
0.2N/μm |
160Hz |
180Hz |
225Hz |
175Hz |
215Hz |
250μm |
250μm |
0.02% |
0.02% |
静電容量式の直接位置測定 |
0.7nm |
0.7nm |
±2nm |
±2nm |
|
|
|
P-625.20L |
要見積もり |
XY |
600μm |
600μm |
±3μrad |
±3μrad |
±5μrad |
±5μrad |
0.5nm |
0.5nm |
ピクマ® |
6.2μF |
6.2μF |
65Hz |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.1N/μm |
0.1N/μm |
105Hz |
120Hz |
135Hz |
125Hz |
150Hz |
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