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シリーズ
高い移動精度と安定性 L-731 精密XYステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 (mm) | 角度誤差 xry (ピッチ) (μrad) | 角度誤差 xrz (ヨー) (μrad) | 角度誤差 yrx (ピッチ) (μrad) | 角度誤差 yrz (ヨー) (μrad) | 真直度・平面度 (μm) | 直交性 (μrad) | 速度 (mm/s) | 統合センサー | センサー信号 | 設計解像度 (μm) | 最小増分動作 (μm) | 一方向の再現性 (μm) | 双方向再現性 (μm) | 基準スイッチの再現性 (μm) | リファレンススイッチとリミットスイッチ | ドライブスクリュータイプ | ドライブスクリューピッチ (mm) | ガイドタイプ | 押し引き力FX、 FY電源オン (N) | 負荷容量 (N) | 許容トルク MXinθX (Nm) | 許容トルク MYinθY (Nm) | 許容トルク MzinθZ (Nm) | モーターの種類 | 動作電圧、公称 (V) | 動作電圧、最大 (V) | 使用温度範囲 (℃) | センサー分解能ロータリーエンコーダー (カット数/回転数) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
L-731.093111 |
要見積もり |
X、Y |
205×205 |
|
±30 |
±75 |
±30 |
±2 |
±96.963 |
50 |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期 |
0.001 |
0.1 |
0.1 |
±0.5 |
<1 |
二股光電センサー N/C接点 5V NPN |
ボールねじ |
2 |
アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド |
100 |
200 |
125 |
125 |
125 |
DCモーター |
24 |
48 |
5~40 |
- | |
|
|
L-731.093112 |
要見積もり |
X、Y |
205×205 |
|
±30 |
±75 |
±30 |
±2 |
±96.963 |
50 |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
A/B直交位相、TTL |
0.01 |
0.5 |
0.5 |
±0.5 |
<1 |
二股光電センサー N/C接点 5V NPN |
ボールねじ |
2 |
アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド |
100 |
200 |
125 |
125 |
125 |
DCモーター |
24 |
48 |
5~40 |
- | |
|
|
L-731.093132 |
要見積もり |
X、Y |
205×205 |
|
±30 |
±75 |
±30 |
±2 |
±96.963 |
90 |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
A/B直交位相、TTL |
0.1 |
0.8 |
0.8 |
±2.5 |
<1 |
二股光電センサー N/C接点 5V NPN |
ボールねじ |
2 |
アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド |
100 |
200 |
125 |
125 |
125 |
DCモーター |
24 |
48 |
5~40 |
20,000 |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング
