短い整定時間と高い動的直線性 S-331 高速チップ/チルトプラットフォーム

短い整定時間と高い動的直線性 S-331 高速チップ/チルトプラットフォーム品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	θXでの回転範囲 3mrad 5mrad	回転範囲 (θY) 3mrad 5mrad	θXの回転範囲、開ループ 4.2 mrad 7 mrad	θYの回転範囲、開ループ 4.2 mrad 7 mrad	θXの直線性誤差 0.10% 0.30%	θYの直線性誤差 0.10% 0.30%	統合センサー	θXでの分解能、開ループ 0.05μrad 0.1μrad	θYの分解能、開ループ 0.05μrad 0.1μrad	θXの双方向再現性 ±1.5μrad ±2.5μrad	θYの双方向繰返し精度 ±1.5μrad ±2.5μrad	センサー解像度、回転 0.1μrad 0.25μrad	ドライブタイプ	公称電圧	電気容量 (θX) 0.96μF 6.2μF	電気容量 (θY) 0.96μF 6.2μF	ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離	ガイド	共振周波数 (θX) 、ガラスミラーによる荷重下 9,020Hz 2,980Hz	θX の共振周波数、無負荷 10,050Hz 2,990Hz	共振周波数 (θY)、ガラスミラーによる荷重下 9,020Hz 2,980Hz	共振周波数 (θY、無負荷) 10,050Hz 2,990Hz	慣性モーメントθX、無負荷	慣性モーメントθY、無負荷	全体の質量 130g 280g	材料	コネクタ D-sub 37ピン (オス) レモLVPZT	推奨コントローラー/ドライバー E-727 E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00	ケーブルの長さ
S-331.2SH	要見積もり	θX θY	3mrad	3mrad	4.2 mrad	4.2 mrad	0.10%	0.10%	SGS、間接位置測定	0.05μrad	0.05μrad	±1.5μrad	±1.5μrad	0.1μrad	ピクマ®	120V	0.96μF	0.96μF	4mm	レバー増幅機能付きたわみガイド	9,020Hz	10,050Hz	9,020Hz	10,050Hz	30g・mm²	30g・mm²	130g	スチール、プラットフォームチタン	D-sub 37ピン (オス)	E-727	2m
S-331.2SL	要見積もり	θX θY	3mrad	3mrad	4.2 mrad	4.2 mrad	0.30%	0.30%	SGS、間接位置測定	0.05μrad	0.05μrad	±1.5μrad	±1.5μrad	0.1μrad	ピクマ®	120V	0.96μF	0.96μF	4mm	レバー増幅機能付きたわみガイド	9,020Hz	10,050Hz	9,020Hz	10,050Hz	30g・mm²	30g・mm²	130g	スチール、プラットフォームチタン	レモLVPZT	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00	2m
S-331.5SH	要見積もり	θX θY	5mrad	5mrad	7 mrad	7 mrad	0.10%	0.10%	SGS、間接位置測定	0.1μrad	0.1μrad	±2.5μrad	±2.5μrad	0.25μrad	ピクマ®	120V	6.2μF	6.2μF	4mm	レバー増幅機能付きたわみガイド	2,980Hz	2,990Hz	2,980Hz	2,990Hz	30g・mm²	30g・mm²	280g	スチール、プラットフォームチタン	D-sub 37ピン (オス)	E-727	2m
S-331.5SL	要見積もり	θX θY	5mrad	5mrad	7 mrad	7 mrad	0.30%	0.30%	SGS、間接位置測定	0.1μrad	0.1μrad	±2.5μrad	±2.5μrad	0.25μrad	ピクマ®	120V	6.2μF	6.2μF	4mm	レバー増幅機能付きたわみガイド	2,980Hz	2,990Hz	2,980Hz	2,990Hz	30g・mm²	30g・mm²	280g	スチール、プラットフォームチタン	レモLVPZT	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00	2m