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ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム-P-545.3D8S
ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム-ピーアイ・ジャパン株式会社

ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ

■特徴

・サブナノメートル分解能で5ms未満の高速応答:トラッキングに最適 ・E-727USBコントローラーとソフトウェアを搭載 ・移動範囲は 70 μm × 70 μm × 50 μm ・薄型で組み込みが簡単: 20 mm ・埋め込み式サンプルホルダー、無制限に回転するノーズピース ・広範なオプションアクセサリー ・コストを最適化した設計 概要 追跡/高解像度顕微鏡/倒立顕微鏡/スクリーニング/走査型顕微鏡/バイオテクノロジー

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します。

■PICMA ®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みの PICMA® ピエゾ アクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■動作を迅速に開始するための拡張ソフトウェア

MATLABとNI LabVIEW、およびすべての一般的なオペレーティング システム(Windows、Linux、macOS) のサポートにより、ほぼすべての環境で統合が迅速かつ効率的に完了します。高度なプログラミング例とPIMikroMoveなどのソフトウェアツールにより、本番運用までの時間が大幅に短縮されます。

  • シリーズ

    ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム

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ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 駆動軸 内蔵センサー 移動範囲 (クローズドループ時) 分解能 (クローズドループ時) 共振周波数 (無負荷時) プッシュ/プルフォース容量 推奨荷重 ピエゾセラミック 静電容量 動作温度範囲 材料 質量 ケーブル長さ ピエゾコントローラ 通信インターフェイス アナログ入力/アナログ出力 コマンドセット ユーザーソフトウェア ソフトウェアドライバ サポートされる機能
ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ P-545.3D8S PInano ® Trak ピエゾ トラッキング システム-品番-P-545.3D8S

P-545.3D8S

要見積もり

X、Y、Z

ピエゾ抵抗素子

70 × 70 × 50 μm

<1 nm

1 (X, Y) , 0.8 (Z) kHz

100 / 30 N

0.5 kg

PICMA

12 (X, Y) , 24 (Z) µF

15~40 ℃

アルミニウム

1.2 kg

1.7 m

E-727.3RDA (納入品目に含まれる)

イーサネット、USB、RS232、シリアルSPI高速インターフェイス

Sub-D 15
18ビットA/Dコンバーターを介した入力
20ビットD/Aコンバーターを介した出力

PIジェネラルコマンドセット (GCS)

PIMikroMove

NI LabVIEWドライバ、Windows用共有ライブラリおよびLinux

ウェーブジェネレーター、データレコーダー、ドリフト補償、マクロ

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移動範囲: 50 - 100mm

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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