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P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ-P-611.Z0
P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野

・マイクロマシニング ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング ・テスト手順と品質保証

■PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命®

特許取得済みのPICMAピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMAアクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。®®

■製品特徴

・コンパクト:表面のみ44mm×44mm ・移動範囲100μm ・0.2nmまでの分解能 ・特に安価なシステム (メカニックとコントローラー) ・ゼロプレイ、高精度フレクシャガイドシステム ・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・X、XY、XZ および XYZ バージョン

■その他

・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・システムプロパティ ・システム構成:P-611.ZSおよびE-665.SRコントローラ、負荷30g

  • シリーズ

    P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ

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P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (Z) 、開ループ (µm) ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad) 帯域幅、Zで10%ステップ (Hz) Z単位の分解能、開ループ (nm) Zの10%ステップのセトリング時間 (ms) ドライブの種類 Z単位の電気容量 (μF) ガイド Zの剛性 (N/μm) Zの共振周波数、無負荷 (Hz) Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) Zの共振周波数、100gの負荷下 (Hz) Zでの許容プッシュ力 (N) Z単位の許容引張力 (N) 全体の質量 (g) 材料 使用温度範囲 (℃) ケーブル長 (m)
P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ-品番-P-611.Z0

P-611.Z0

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Z

120

±20

±5

±5

40

0.2

25

ピクマ®

1.5

レバー増幅付き曲げガイド

0.45

460

375

265

15

10

176

アルミニウム、スチール

-20から80

レモFFS.00.250.CTCE24

1.5

E-610,E-625, E-665,E-836

- - - - - -
P-611.Z  Z軸小型ピエゾステージ-品番-P-611.ZS

P-611.ZS

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ピクマ®

1.5

レバー増幅付き曲げガイド

0.45

460

375

265

15

10

176

アルミニウム、スチール

-20から80

レモFFS.00.250.CTCE25

1.5

E-610,E-625,E-665,E-709.SRG,E-836

100

0.1

±5

SGS、間接位置測定

2

レモFFA.0S.304.CLAC33

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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