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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-68509111
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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製品概要

■リファレンスクラスリニアステージ

再循環ボールベアリングによる高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1Vpp) を備えたインクリメンタルエンコーダによる高い位置分解能。UPRシリーズの直接駆動回転ステージとの多軸の組み合わせ。DCサーボまたはステッピングモーターを搭載したモデルは、同じフットプリントで利用できます。

■磁気ダイレクトドライブ

高速と加速のためのアイアンレス磁気ダイレクトドライブ。高い位置分解能。

■応用分野

産業と研究。半導体または電子機器製造における計測、精密スキャン。

■製品特徴

・移動範囲508mm (20") ・500mm/sまでの速度 ・分解能15nmのインクリメンタルエンコーダ

  • シリーズ

    磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ

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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ 品番5件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) 統合センサー Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) センサー信号 センサー解像度 (nm) 基準スイッチ リミットスイッチ ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向へのピーク力 (N) X単位の正の運動方向へのピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相 (V·s/m) ポールピッチN-N (mm) ガイド 質量をX単位で移動し、無負荷 (g)
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509111

68509111

要見積もり

X

155

500

±2

±2

±40

±50

インクリメンタルリニアエンコーダ

0.05

±0.15

0.04

Sin/cos、1Vピークピーク

15

エンコーダインデックス

帰納

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.2

7.5

50

50

150

150

19.9

1.8

0.6

16

30

再循環ボールベアリングガイド

900

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509121

68509121

要見積もり

X

205

500

±3

±3

±50

±50

インクリメンタルリニアエンコーダ

0.05

±0.15

0.04

Sin/cos、1Vピークピーク

15

エンコーダインデックス

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アイアンレス3相リニアモーター

48

3.2

7.5

50

50

150

150

19.9

1.8

0.6

16

30

再循環ボールベアリングガイド

900

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509131

68509131

要見積もり

X

305

500

±4

±4

±60

±50

インクリメンタルリニアエンコーダ

0.05

±0.15

0.04

Sin/cos、1Vピークピーク

15

エンコーダインデックス

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アイアンレス3相リニアモーター

48

3.2

7.5

50

50

150

150

19.9

1.8

0.6

16

30

再循環ボールベアリングガイド

900

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509141

68509141

要見積もり

X

408

500

±5

±5

±70

±50

インクリメンタルリニアエンコーダ

0.05

±0.15

0.04

Sin/cos、1Vピークピーク

15

エンコーダインデックス

帰納

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.2

7.5

50

50

150

150

19.9

1.8

0.6

16

30

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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509151

68509151

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X

508

500

±6

±6

±80

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インクリメンタルリニアエンコーダ

0.05

±0.15

0.04

Sin/cos、1Vピークピーク

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48

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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