全てのカテゴリ
閲覧履歴
シリーズ
バッチアッシング装置 MG8500R取扱企業
ミヤ通信工業株式会社カテゴリ
もっと見る
半導体製造装置の製品183点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理ウエハーサイズ | 処理方法 | RF電源 | プロセスガス | パージガス | 処理ステップ | チャンバ数 | ウェハー搬送ユニット | スループット | ユーティリティ 電源 | ユーティリティ 真空ポンプ | ユーティリティ O2 | ユーティリティ N2 | ユーティリティ CDA | ユーティリティ フィンガ吸着 | ユーティリティ 冷却水 | 本体寸法 (mm) | 制御ラック寸法 (mm) | 重量 (kg) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
MG8500R |
要見積もり |
200mm (8インチ) |
同軸パレル方式 |
2kW 13.56MHz オートチューニング |
O2 |
N2 |
3ステップ (128レシピ) |
円筒・縦型×1 |
垂直動作 |
> 50枚/H |
Φ3 200V |
10,000L/min |
0.2MPa |
0.3MPa |
0.5MPa |
-80~-60KPa |
6L/min以上 0.5MPa以下 |
850Wx1,200Dx1,950H |
550Wx650Dx835H |
500 (本体) 、120 (制御ラック) |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます