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【精密位置決めステージ】TA測定システム-TA測定システム
【精密位置決めステージ】TA測定システム-エヌピイエス株式会社

【精密位置決めステージ】TA測定システム
エヌピイエス株式会社



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この製品について

Velmex「TA」システムは、研究者が非接触で測長分析を行うために特別に設計されたシステムです。発売以来、Velmex「TA」システムは、米国のendrologicalresearchcommunityの標準となっています。TAシステムは、以下のような多目的な用途に使用されています。​

■用途

・木の年輪成長測定 ・軟体動物の成長研究 ・サンゴへの生態的影響 ・プローブ等の位置決め ・精密ボアカメラ検査 ・材料の応力解析 ・その他、高精度な非接触測定・位置決めが必要なアプリケーション 耐久性とコンパクト性を向上させながら、手頃な価格で高精度を実現させたシステムとなっております。※Velmexのシステムには、顕微鏡や専用の解析ソフトは含まれていません。 ​

■機器構成

TA"システムは、以下で構成されています。 ・早送り付UniSlide®、送りピッチ1mm/回転  ・リニアエンコーダ (分解能0.001mm) ・VelmexVRO™スケールデジタルカウンター (リニアエンコーダに接続しコンピュータに測定値を記録するためのインターフェースVRO-1Bベース付き)

■オプション品

・VXM-USB-RS232シリアル・ケーブル ・VRO-TAB2リモートリセット・送信用リモート入力モジュール

  • シリーズ

    【精密位置決めステージ】TA測定システム

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【精密位置決めステージ】TA測定システム 品番1件

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TA測定システム

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型 電動型 空圧型

軸構成

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

ガイド方式

クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型

精度特性

高精度型 長ストローク型 高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エヌピイエス株式会社は、半導体や電子工業分野で必要な検査測定機器や製造装置等の輸出入と、製造販売を行う企業です。
 半導体製造・検査装置の総合展示会である「SEMICON JAPAN」(セミコンジャパン)に、19...

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  • 本社所在地: 東京都
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