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イオンビーム描画装置OMFシリーズ-OMFシリーズ
イオンビーム描画装置OMFシリーズ-ビューラー株式会社

イオンビーム描画装置OMFシリーズ
ビューラー株式会社

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■ビューラー・ライボルトオプティクス (旧OPTEG社) のイオンビーム描画装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。2018年より新たに真空中で超精密光学レンズの表面研磨をイオンビームにて行うIBF装置を世界に展開していきます。

■特長

・精密光学に用いられる各種基板材料の表面をイオンビームで処理加工しλ/200の超精密研磨が可能。 ・レーザー光学部品をはじめ、天体望遠鏡・DUV・EUV・X線ミラー等の生産にご使用いただけます。 ・高真空チャンバー内でイオンビームで基板表面の研磨処理を実施 ・6軸制御で大型の平板からレンズ (球面・非球面) 表面を精密加工

■用途/実績例

超高精度レンズ、X線ミラー、天体望遠鏡ミラー、等

  • シリーズ

    イオンビーム描画装置OMFシリーズ

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イオンビーム描画装置OMFシリーズ 品番1件

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OMFシリーズ

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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ビューラーは、世界の安全な食料供給に貢献し、気候変動に取り組み、自動車や建物、
機械のエネルギー効率を高めるためのソリューションを開発しています。
食品およびモビリティ産業のソリューションパートナーとして...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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