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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-EX0505 / 50×50
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX
THK株式会社



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この製品について

■精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ

■シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

■優れた応答性

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

■モータ軸換算負荷:慣性モーメント

・EX0505:X軸 0.024[kg・cm2]、Y軸 0.027[kg・cm2] ・EX0808:X軸 0.026[kg・cm2]、Y軸 0.03[kg・cm2] 注) カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

■高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

■ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-品番-EX0505 / 50×50

EX0505 / 50×50

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移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都

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