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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-EX0505 / 50×50
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX
THK株式会社

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■精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ

■シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

■優れた応答性

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

■モータ軸換算負荷:慣性モーメント

・EX0505:X軸 0.024[kg・cm2]、Y軸 0.027[kg・cm2] ・EX0808:X軸 0.026[kg・cm2]、Y軸 0.03[kg・cm2] 注) カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

■高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

■ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-品番-EX0505 / 50×50

EX0505 / 50×50

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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1.6時間

会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都
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