全てのカテゴリ

閲覧履歴

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX-CHX-100-L
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX
THK株式会社

THK株式会社の対応状況 返信のとても早い企業

返答率

100.0%

返答時間

1.6時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX

予圧型フレキシブル平面軸受を採用した、超薄型アライメントステージです。

■超薄型

予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

■トップテーブルの小型化

トップテーブルのサイズは縦横ともに、100~200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

■高剛性

適正な予圧が作用したフレキシブル平面軸受を採用したことにより、ラジアル・逆ラジアル・モーメント方向に対して高剛性です。

■高精度

トップテーブルに作用したラジアル荷重の大部分を上プレートを介してフレキシブル平面軸受が支持するので、駆動モジュールで使用している案内部にはラジアル荷重がほとんど作用しません。そのため、長期的に高精度が維持できます。

■主な用途

・光学機器、医療機器、バイオ事業 ・太陽電池、光学レンズの貼合わせ装置 ・プローブ検査装置 ・チップデバイス露光、印刷、塗布装置 ・微細レーザ加工機 ・チップマウンタ用アライメント

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX

この製品を共有する


30人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前


返答率: 100.0%

返答時間: 1.6時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


自動ステージ注目ランキング

もっと見る

自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

自動ステージ注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX-品番-CHX-100-L

CHX-100-L

要見積もり

フィルターに該当する他製品

自動ステージの中で同じ条件の製品
精度特性: 高精度型

フィルターから探す

自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

この商品を見た方はこちらもチェックしています

自動ステージをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

1.6時間

会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2025 Metoree