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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX-CMXS1
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX
THK株式会社

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この製品について

■精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX

画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージです。

■小型~大型ワークに対応

トップテーブルサイズ50×50mmから1500×1500mmまでのステージを標準化。XYθモジュールを必要数配置することで更なる大型化への対応も可能です。

■超薄型・軽量

XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

■中抜き構造※2

トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

■高剛性・高精度

XYθモジュールを構成しているクロスLMガイド※1とクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

■主な用途

・FPD製造装置・検査装置 ・半導体製造装置・検査装置 ・スクリーン印刷機・マスク検査装置 ・プリント基板製造装置・検査装置 ・太陽電池製造装置・検査装置 ・電子デバイス製造装置・検査装置 ※1 CMXS1、S2はLMガイドSRSをクロス状に組合わせています。 ※2 中抜き構造はCMX1、2、3のみとなります。

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX-品番-CMXS1

CMXS1

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精度特性: 高剛性型

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都
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