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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX-A05 / 50 標準
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX
THK株式会社

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この製品について

■精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX

高精度でバリエーションが豊富、さまざまな用途に対応可能な精密ステージ

■豊富なバリエーション

さまざまな用途に合わせた3種類のステージ精度があり、標準ストロークは50mmから500mmを用意しています。ジャバラタイプも用意しており、環境に応じた選定が可能です。

■高精度

精密ステージA/AXは精密研削された断面高さの低いコンパクトなLMガイドSRを使用し、多重拘束構造による高精度案内が得られます。SRはラジアル方向の荷重に強いボール接触構造のため水平案内部に最適なLMガイドです。

■ルトアップタイプ

従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく、1軸ステージの組合わせでストロークが自由に選択可能です。

■長期間高精度を維持

案内部は信頼性に優れたLMガイドを使用し、長期間、精度寿命が得られます。また、送りねじにはボールねじを使用し、ガタのない正確な位置決め送りが可能です。

■オプションの充実

ジャバラ・高速タイプをオプションとしてご用意しております。

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX-品番-A05 / 50 標準

A05 / 50 標準

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都
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