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シリーズ
エッチングマシン YCE-500WA取扱企業
株式会社山縣機械カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理工程 | ワークサイズ | 装置寸法 |
|---|---|---|---|---|---|
|
|
YCE-500WA |
要見積もり |
投入⇒エッチング⇒液切 (排気) ⇒循環水洗⇒直水洗⇒液切 (排気) ⇒エアナイフ・排出 |
MAX.□500mm |
1,330×2,180×1,635mm (W×L×H) |
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エッチング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究エッチング方式
ウェットエッチング型 ドライエッチング型 イオンビームエッチング型プラズマ生成方式
高周波プラズマ型 インダクティブプラズマ型 キャパシティブプラズマ型搬送方式
バッチ式 シングルウェハ式対象材料
シリコン対応型 化合物半導体対応型 金属膜対応型 絶縁膜対応型ウェハサイズ mm
50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350プラズマソース
CCP型 ICP RF プラズマ マイクロ波圧力制御
APC制御 FAPC
