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KOHエッチング装置 ETC-8001F取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ルツボサイズ | 対応ウエハサイズ | 最高加熱温度 (制御用熱電対値) | 温度安定性 (制御用熱電対値) | 基板カゴ上下機構 | 基板カゴ回転機構 | ルツボ蓋用シャッター機構 | 液温測定用熱電対上下機構 | 電力 | 排気ダクト径 | 装置サイズ (筐体) | 装置重量 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ETC-8001F |
要見積もり |
Φ250×H190 (t2) |
8インチ |
700℃ |
±1℃ |
自動 |
モータ駆動 (Max.10rpm) |
手動 (ルツボの蓋を機械的に開閉) |
手動 (機械位置から液温測定位置まで移動) |
単相200V 30A |
Φ100※筐体内排気用排気設備をご準備下さい |
W1000×D930×H2,200 |
350kg |
シグナルタワー |
エッチング装置をフィルターから探すことができます
