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ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ-LSVL90-12A-20
ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ-THKプレシジョン株式会社

ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。 アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

■特徴

・スリムで省スペース ・自己発熱が少ない ・真空環境対応、非磁性対応 ・リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

■製品応用例

・光学系の高精度位置決め ・レーザーアライメント ・精密マッピング測定 ・X線/分析、測定装置 ・顕微鏡用試料ステージ ・位置調整後に静止保持する用途

  • シリーズ

    ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ

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ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 可動範囲 分解能 繰り返し位置決め精度 最大移動速度 耐荷重 ピッチング ヨーイング ローリング 推力 静止保持力 光学式内蔵リニアスケール 移動ガイド 本体
ピエゾモータステージ 直動系 Z軸ステージ-品番-LSVL90-12A-20

LSVL90-12A-20

要見積もり

±6mm 全範囲12mm

20nm

±20nm

5mm/sec

0.5kg

15"/15"/15"

20N

20N

・タイプ Type A レニショー製
・スケール分割数 20μm/2,000分割. (10nm)

クロスローラーガイド

・質量 900g
・材質 アルミ
・表面処理 無電解ニッケルメッキ

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

構造

単一軸ステージ 複数軸ステージ ガイドレール型

用途

高精度測定用 表面加工用 ラボ実験用 光学調整用

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都
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