ピエゾモータステージ直動系 Z軸ステージ
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。

アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

■特徴・スリムで省スペース
・自己発熱が少ない
・真空環境対応、非磁性対応
・リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

■製品応用例・光学系の高精度位置決め
・レーザーアライメント
・精密マッピング測定
・X線／分析、測定装置
・顕微鏡用試料ステージ
・位置調整後に静止保持する用途

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾモータステージ直動系 Z軸ステージ

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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精密ステージ

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1軸ステージ

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ピエゾモータステージ直動系 Z軸ステージ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	可動範囲	分解能	繰り返し位置決め精度	最大移動速度	耐荷重	ピッチングヨーイングローリング	推力	静止保持力	光学式内蔵リニアスケール	移動ガイド	本体
	LSVL90-12A-20	要見積もり	±6mm 全範囲12mm	20nm	±20nm	5mm/sec	0.5kg	15"/15"/15"	20N	20N	・タイプ Type A レニショー製・スケール分割数 20μm/2,000分割. (10nm)	クロスローラーガイド	・質量 900g ・材質アルミ・表面処理無電解ニッケルメッキ