ピエゾモータステージ直動系 XY軸ステージ開口付き-LS2K180-16B-06

ピエゾモータステージ直動系 XY軸ステージ開口付き
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。

アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

■特徴・スリムで省スペース
・自己発熱が少ない
・真空環境対応、非磁性対応
・リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

■製品応用例・光学系の高精度位置決め
・レーザーアライメント
・精密マッピング測定
・X線／分析、測定装置
・顕微鏡用試料ステージ
・位置調整後に静止保持する用途

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾモータステージ直動系 XY軸ステージ開口付き

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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精密ステージ

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ピエゾモータステージ直動系 XY軸ステージ開口付き品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	可動範囲	分解能	繰り返し位置決め精度	最大移動速度	耐荷重	ピッチングヨーイングローリング	推力	静止保持力	光学式内蔵リニアスケール	移動ガイド	本体
	LS2K180-16B-06	要見積もり	(X) ±8mm, (Y) ±8mm (全範囲X16mm Y16mm)	(X,Y) 40nm	(X,Y) ±40nm	5mm/sec	2kg	30"/30"/30"	6N	6N	・タイプ Type B THKプレシジョン製・スケール分割数 20μm/2,000分割. (10nm)	クロスローラーガイド	・質量 2.5kg ・材質アルミ・表面処理無電解ニッケルメッキ