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ピエゾモータステージ 直動系 X軸ステージ取扱企業
THKプレシジョン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 可動範囲 | 分解能 | 繰り返し位置決め精度 | 最大移動速度 | 耐荷重 | ピッチング ヨーイング ローリング | 推力 | 静止保持力 | 光学式内蔵リニアスケール | 移動ガイド | 本体 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
LS1L60-08B-06 |
要見積もり |
±4mm 全範囲8mm |
40nm |
±40nm |
5mm/sec |
1kg |
20"/20"/20" |
1kg |
6N |
・タイプ Type B THKプレシジョン製 |
クロスローラーガイド |
・質量 250g |
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
