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ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ-PU1H70F-012U
ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

精密切削におけるナノ、マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク (加工対象物) を高速、高精度に位置制御できます。

■防塵防滴の対策

密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。

■堅牢な本体

・加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。 ・ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。

■製品応用例

・ダイヤモンドバイト送り ・微細切削、研削加工 ・高速工具制御 ・ワーク位置決め ・精密金型加工 ・高荷重物の精密位置決め

  • シリーズ

    ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ

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ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 分解能 繰り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 ピッチング ヨーイング ローリング 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ-品番-PU1H70F-012U

PU1H70F-012U

要見積もり

・クローズ時 12μm
・オープン時 16μm

1nm

±1nm

50N

・0g負荷時 4,300Hz
・100g負荷時 2,700Hz

1"/1"/1"

静電容量式変位センサ

0.1%

5.4μF

0.01μm/N

・質量 1,300g
・材質 鋼
・表面処理 無電解ニッケルメッキ

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都

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