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ピエゾステージ 超精密加工機用 1軸タイプ取扱企業
THKプレシジョン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ストローク | 分解能 | 繰り返し位置決め精度 | 耐荷重 | 共振周波数 | ピッチング ヨーイング ローリング | 内蔵変位センサ | リニアリティ | 圧電素子静電容量 | 剛性 | 本体 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PU1H70F-012U |
要見積もり |
・クローズ時 12μm |
1nm |
±1nm |
50N |
・0g負荷時 4,300Hz |
1"/1"/1" |
静電容量式変位センサ |
0.1% |
5.4μF |
0.01μm/N |
・質量 1,300g |