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ピエゾステージ XY軸 開口モデル取扱企業
THKプレシジョン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ストローク | 分解能 | 繰り返し位置決め精度 | 耐荷重 | 共振周波数 | ピッチング ヨーイング ローリング | 内蔵変位センサ | リニアリティ | 圧電素子静電容量 | 剛性 | 本体 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PK2H100-030U |
要見積もり |
・クローズ時 (X,Y) 30μm |
(X,Y) 1nm |
(X,Y) ±1nm |
50N |
・0g負荷時 2,500Hz |
1"/1"/2" |
静電容量式変位センサ |
0.1% |
6.8μF/axis |
(X,Y) 0.05μm/N |
・質量 600g |
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
