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ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル-PS1L60-200U-S
ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

  • シリーズ

    ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル

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ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 分解能 繰り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 ピッチング ヨーイング ローリング 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル-品番-PS1L60-200U-S

PS1L60-200U-S

要見積もり

・クローズ時 200μm
・オープン時 260μm

20nm

±20nm

5N

・0g負荷時 470Hz
・100g負荷時 280Hz

2"/3"/2"

歪みゲージ式変位センサ

±0.2%

6.8μF

2.0μm/N

・質量 250g
・材質 アルミ+銅
・表面処理 黒アルマイト+レイデント

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都

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