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ターボ分子ポンプ UTM-MI-UTM1200A
ターボ分子ポンプ UTM-MI-株式会社アルバック

ターボ分子ポンプ UTM-MI
株式会社アルバック

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この製品について

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

■特長

・ポンプ本体とコントローラが一体。ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引き回し作業が不要です。 ・自由な取付方向。取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。 ・排気速度1,000L/s ~ 3,000L/sクラスをラインナップ。 ・ライトプロセス向けの広域大流量設計 ・ポンプ回転数を25~100%の範囲で可変。回転数は可変することができ、チャンバーの圧力調整ができます。 ・高い耐久性と安全性。大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。 用途

■各種装置の真空主排気系

・半導体製造装置 ・蒸着装置 ・スパッタリング装置 ・分析装置 ,実験装置など ・研究開発設備 ・副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系 ・油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え ・その他、高真空排気用途全般

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ UTM-MI

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ターボ分子ポンプ UTM-MI 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口 排気口 到達圧力 排気速度 (N2) 排気速度 (Ar) 排気速度 (H2) 圧縮比 (N2) 圧縮比 (He) 圧縮比 (H2) 最大吸気口圧力 最大排気口圧力 回転数 回転数可変機能 起動時間 取付方向 表面処理 外部制御 (リモートインターフェイス) 外部制御 (シリアルインターフェイス) コントローラ 構成 コントローラ 電源 コントローラ 最大所要動力 冷却方式 冷却水 (流量) 冷却水 (水圧) 騒音 質量 推奨補助ポンプ 適合規格 選択仕様 ACケーブル 標準付属品
ターボ分子ポンプ UTM-MI-品番-UTM1200A

UTM1200A

要見積もり

VG150/ISO160F

KF40

10^-7 Pa

1,030 L/s

980 L/s

660 L/s

2×10 8

7×10^3

8×10^2

26 Pa

266 Pa

37,200 min-1

ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1%単位)

8分以内

全方位取付可能

無し

D-sub25ピンメス 接点入出力

専用丸型コネクタ RS232C/RS485

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

単相AC200~240V±10% (50/60Hz ±2Hz)

0.75kVA

水冷

3~4 L/min

0.2 ~ 0.4 MPaG

57 dB (A)

43 kg

600L/min以上

CE、TUVus

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

吸気口用Oリング (VGのみ) 、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

73.9時間

会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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